核心技術突破

（1）超大（dà）型設備研發

• 中南大（dà）學成功研製直徑1.2米真空熱壓爐，創國內紀錄

• 湖南頂立科技（jì）開發出多缸同步（bù）加壓係統，壓力均勻性（xìng）達±1%

• 
  

（2）智能化控製係統

• 中（zhōng）科院上（shàng）海矽酸鹽所開發AI工（gōng）藝優化係統

• 可（kě）實現：

• 實時溫度-壓力自（zì）適應調節

• 燒結（jié）缺陷智能診斷

• 工藝參數自（zì）動優化

  
  

關鍵材料製備

（1）第三代半導（dǎo）體（tǐ）材料

• 山東天嶽實現6英寸SiC單晶熱壓（yā）生長

• 關鍵指標：

• 微管密度<0.5個/cm²

• 電阻率均勻性±3%

  
  

（2）超高溫陶瓷

• 哈爾濱（bīn）工業大學研製（zhì）出新型ZrB2-SiC複合材料

• 性能表現：

• 耐溫達2200℃

• 抗熱（rè）震性能提升50%

創（chuàng）新工藝開發

（1）新型燒結（jié）技術

• 北京科技大學開發微波（bō）輔助（zhù）熱壓工藝

• 優勢特（tè）點：

• 燒（shāo）結（jié）時（shí）間縮短60%

• 能耗降低40%

• 晶粒尺寸更均勻

  
  

（2）綠色製造（zào）技術（shù）

• 廣州有色金屬研究院研發廢（fèi）料回收係統

• 實現：

• 燒結廢料100%回（huí）收利用

• 生（shēng）產成本降低25%

我國在真空（kōng）熱壓燒結技術領域已實現從跟跑（pǎo）到並跑的轉變，在設備大型化、智能化等（děng）方麵（miàn）取得顯著突破，未來將繼續向原創（chuàng）性技術創新方向發展（zhǎn）。