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真空爐熱調試注意事項(xiàng)真空爐熱調(diào)試注意(yì)事項 1)當烤箱(xiāng)的真空度不小於13.3 pa時,在烤箱溫度緩慢升至1300°C的(de)整個過程中,烤箱的真空度應不小於13.3 PA。完(wán)全烘烤和脫氣後,壓力升高率(lǜ)可以達到技術要求。 2)極限真空度:不小於6 x 1.0-4Pa。 3)工作真空度:不小於2.7Pa(在1000爐(lú)膛下(xià))。 4)升壓速率測(cè)量:將真空爐加熱到1200℃,充分烘烤並脫氣後,將爐溫冷卻至100℃以下,升壓速率(lǜ)應達到0.5Pa / h。 5)充(chōng)氣體調(diào)試(shì):當冷卻(què)室的真空(kōng)度為1.33Pa時,關閉真空隔(gé)熱(rè)層和冷卻(què)室(shì)的真空閥,立即向冷卻室真空爐內(nèi)充入0.06MPa的氮氣,時間應為2.5 (秒),並且加熱室的真空度不得小於670Pa。 Last真空爐氣體沉積Next真空爐怎麽進行熱量轉化 |